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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >    >  HORIBA(過(guò)程&環(huán)境)  >  LEM-CT-670-G50實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述:產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 建材,電子,汽車(chē),電氣 概要實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí),使用干涉測(cè)量法。通過(guò)循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào):LEM-CT-670-G50
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2023-07-27
  • 訪  問(wèn)  量:898

詳細(xì)介紹

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概要

實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí),使用干涉測(cè)量法。通過(guò)循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)?;谶@個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

  •  兩種類(lèi)型的激光器,可兼容大范圍的薄膜,包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
  • 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
  • 終點(diǎn)檢測(cè)法的靈活應(yīng)用。
  • *的加工特點(diǎn)。

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